SN201712227 蒸發台(舊)

品名

品名

蒸發台(舊)

型號

BS-ITO-600

制造商

Branchy

主要功能

電子束蒸發法是真空蒸發鍍膜的一種,是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料,使蒸發材料氣化並向基板輸運,在基底上凝結形成薄膜的方法。在電子束加熱裝置中,被加熱的物質放置于水冷的柑渦中,可避免蒸發材料與柑禍壁發生反應影響薄膜的質量。因此電子束蒸發沈積法可以制備高純薄膜,同時在同一蒸發沈積裝置中可以安置多個坩埚,實現同時或分別蒸發,沈積多種不同的物質。通過電子束蒸發,任何材料都可以被蒸發,不同材料需要采用不同類型的坩埚以獲得所要達到的蒸發率。

技術指標

主要目前用于蒸發TiAlNiAuCrAgCu等金屬薄膜,蒸發速率0.1A/s-2A/s可調,最大蒸發厚度可至200nm(其他材料正在積極推動)。一次可蒸鍍六寸片6片,向下尺寸兼容,薄膜均勻性≤±5%;工作真空:8E-6Torr,溫度:20-300℃

設備現狀

正常對外開放預約

收費標准

機時費:500/30min,材料費:Au 15/nm,其他金屬1/nm

其他費用:無Au300元,有Au500元。

管理員

程偉

聯系方式

62872658

設備照片




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